蘇州氦檢漏儀器在產(chǎn)品開發(fā)初期的包裝組件的氣密性驗證用示蹤氣體法(氦質(zhì)譜檢漏)
檢漏的目的是確定被檢件漏孔的位置和漏率,這些目的是通過采用一些標(biāo)準(zhǔn)的檢漏方法實現(xiàn)的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的檢漏目的,常用基礎(chǔ)的有3種檢漏方法。
1.負(fù)壓法
該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口,用儀器的真空系統(tǒng)對被檢件抽真空檢漏,然后用噴槍向可能泄漏處噴吹氦氣。當(dāng)有漏孔存在時,氦氣通過漏孔進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀被定量檢測出。
2.正壓法
又稱吸槍檢漏,將專用吸槍接在儀器檢漏口上,被檢件充入規(guī)定壓力的氦氣(純氦氣或一定比例氦氮混合氣)。檢漏時,吸槍沿可能泄漏處慢慢移動,被檢件有漏孔,氦氣自漏孔漏出,被吸槍吸入至儀器的質(zhì)譜系統(tǒng)而被檢測出。因為空氣中含有5ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對負(fù)壓法要低。
3.背壓法
全密封件進(jìn)行氣密性檢測時采用背壓法。檢漏前用壓氦罐向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦氣;或者先在被檢件前道工藝中向產(chǎn)品內(nèi)部封入氦氣。被檢件放入檢漏罐中,再將檢漏罐連接到氦質(zhì)譜檢漏儀,對檢漏罐抽真空檢漏,被檢件有漏孔存在,通過漏孔壓入(或封入)被檢件的氦氣會泄漏出來進(jìn)入檢漏罐,被氦質(zhì)譜檢漏儀定量檢測到。用這種方法測得的漏率是總漏率。